Mavuno ya chip katika tasnia ya utengenezaji wa chip yanahusiana sana na saizi na idadi ya chembe za hewa zilizowekwa kwenye chip. Shirika nzuri ya mtiririko wa hewa inaweza kuchukua chembe zinazozalishwa kutoka kwa vyanzo vya vumbi mbali na chumba safi na kuhakikisha usafi wa chumba safi. Hiyo ni, shirika la mtiririko wa hewa katika chumba cha kusafisha lina jukumu muhimu katika mavuno ya uzalishaji wa chip. Malengo ya kupatikana katika muundo wa shirika safi la mtiririko wa hewa ni: kupunguza au kuondoa mikondo ya eddy kwenye uwanja wa mtiririko ili kuzuia kutunza chembe zenye madhara; Ili kudumisha gradient inayofaa ya shinikizo ili kuzuia uchafuzi wa msalaba.
Kulingana na kanuni ya chumba safi, vikosi vinavyofanya kazi kwenye chembe ni pamoja na nguvu kubwa, nguvu ya Masi, kivutio kati ya chembe, nguvu ya mtiririko wa hewa, nk.
Nguvu ya Airflow: Inahusu nguvu ya kufurika kwa hewa inayosababishwa na usambazaji na kurudisha hewa, hewa ya kufifia ya mafuta, msukumo wa bandia, na hewa zingine zilizo na kiwango fulani cha mtiririko wa kubeba chembe. Kwa udhibiti wa teknolojia ya mazingira safi ya chumba, nguvu ya mtiririko wa hewa ndio jambo muhimu zaidi.
Majaribio yameonyesha kuwa katika harakati za hewa, chembe hufuata mtiririko wa hewa kwa karibu kasi sawa. Hali ya chembe hewani imedhamiriwa na usambazaji wa hewa. Athari kuu za kufurika kwa hewa kwenye chembe za ndani ni pamoja na: hewa ya usambazaji wa hewa (pamoja na hewa ya msingi na hewa ya sekondari), hewa ya hewa na hewa ya convection inayosababishwa na watu wanaotembea, na athari ya hewa ya hewa kwenye chembe zinazosababishwa na shughuli za mchakato na vifaa vya viwandani. Njia tofauti za usambazaji wa hewa, miingiliano ya kasi, waendeshaji na vifaa vya viwandani, matukio yaliyosababishwa, nk katika vyumba vya kusafisha ni mambo yote ambayo yanaathiri kiwango cha usafi.
1. Ushawishi wa njia ya usambazaji wa hewa
(1) Kasi ya usambazaji wa hewa
Ili kuhakikisha mtiririko wa hewa sawa, kasi ya usambazaji wa hewa katika chumba safi cha mtiririko wa unidirectional lazima iwe sawa; Ukanda uliokufa kwenye uso wa usambazaji wa hewa lazima uwe mdogo; na kushuka kwa shinikizo ndani ya kichujio cha HEPA lazima pia kuwa sawa.
Kasi ya usambazaji wa hewa ni sawa: ambayo ni, kutokuwa na usawa wa mtiririko wa hewa kunadhibitiwa ndani ya ± 20%.
Kuna nafasi kidogo iliyokufa kwenye uso wa usambazaji wa hewa: sio tu kwamba eneo la ndege la sura ya HEPA lipunguzwe, lakini muhimu zaidi, FFU ya kawaida inapaswa kutumiwa kurahisisha sura ya redundant.
Ili kuhakikisha kuwa mtiririko wa hewa ni wima na usio na usawa, uteuzi wa shinikizo la kichujio pia ni muhimu sana, na inahitajika kwamba upotezaji wa shinikizo ndani ya kichujio hauwezi kupendelea.
(2) Ulinganisho kati ya mfumo wa FFU na mfumo wa shabiki wa mtiririko wa axial
FFU ni kitengo cha usambazaji wa hewa na shabiki na kichujio cha HEPA. Hewa huingizwa na shabiki wa centrifugal wa FFU na hubadilisha shinikizo la nguvu kuwa shinikizo la tuli kwenye duct ya hewa. Imepulizwa sawasawa na chujio cha HEPA. Shinikiza ya usambazaji wa hewa kwenye dari ni shinikizo hasi. Kwa njia hii hakuna vumbi litavuja ndani ya chumba safi wakati wa kubadilisha kichujio. Majaribio yameonyesha kuwa mfumo wa FFU ni bora kuliko mfumo wa shabiki wa mtiririko wa axial katika suala la umoja wa hewa, usawa wa mtiririko wa hewa na faharisi ya ufanisi wa uingizaji hewa. Hii ni kwa sababu usawa wa mtiririko wa hewa ya mfumo wa FFU ni bora. Matumizi ya mfumo wa FFU inaweza kuboresha shirika la mtiririko wa hewa katika chumba safi.
(3) Ushawishi wa muundo wa FFU mwenyewe
FFU inaundwa sana na mashabiki, vichungi, miongozo ya mtiririko wa hewa na vifaa vingine. Kichujio cha HEPA ndio dhamana muhimu zaidi kwa chumba safi kufikia usafi unaohitajika unaohitajika na muundo. Nyenzo ya kichujio pia itaathiri umoja wa uwanja wa mtiririko. Wakati nyenzo mbaya ya chujio au sahani ya mtiririko imeongezwa kwenye duka la kichungi, uwanja wa mtiririko wa nje unaweza kufanywa kwa urahisi.
2. Athari za interface ya kasi na usafi tofauti
Katika chumba kimoja safi, kati ya eneo la kufanya kazi na eneo lisilofanya kazi na mtiririko wa wima usio na wima, kwa sababu ya tofauti ya kasi ya hewa kwenye sanduku la HEPA, athari ya mchanganyiko wa vortex itatokea kwenye interface, na interface hii itakuwa ya msukosuko Ukanda wa hewa. Nguvu ya mtikisiko wa hewa ni nguvu sana, na chembe zinaweza kupitishwa kwa uso wa mashine ya vifaa na kuchafua vifaa na mikate.
3. Athari kwa wafanyikazi na vifaa
Wakati chumba safi haina kitu, sifa za mtiririko wa hewa katika chumba kwa ujumla hukidhi mahitaji ya muundo. Mara tu vifaa vinapoingia safi, watu huhama, na bidhaa husafirishwa, kuna vizuizi visivyoweza kuepukika kwa shirika la mtiririko wa hewa, kama vile alama kali zinazojitokeza kutoka kwa mashine ya vifaa. Katika pembe au kingo, gesi itaelekea kuunda eneo la mtiririko, na maji katika eneo hilo hayatachukuliwa kwa urahisi na gesi inayoingia, na hivyo kusababisha uchafuzi wa mazingira.
Wakati huo huo, uso wa vifaa vya mitambo utawashwa kwa sababu ya operesheni inayoendelea, na gradient ya joto itasababisha eneo la kuzunguka karibu na mashine, ambayo huongeza mkusanyiko wa chembe katika eneo la Refrow. Wakati huo huo, joto la juu litasababisha chembe kutoroka. Athari mbili huongeza safu ya jumla ya wima. Ugumu wa kudhibiti usafi wa mkondo. Vumbi kutoka kwa waendeshaji kwenye chumba safi wanaweza kuambatana kwa urahisi na mikate katika maeneo haya ya kurejesha.
4. Ushawishi wa sakafu ya hewa ya kurudi
Wakati upinzani wa hewa ya kurudi kupita kwenye sakafu ni tofauti, tofauti ya shinikizo itatokea, na kusababisha hewa kutiririka katika mwelekeo wa upinzani mdogo, na mtiririko wa hewa sawa hautapatikana. Njia maarufu ya sasa ni kutumia sakafu iliyoinuliwa. Wakati uwiano wa ufunguzi wa sakafu iliyoinuliwa ni kwa 10%, kasi ya mtiririko wa hewa inaweza kusambazwa sawasawa kwa urefu wa kazi wa ndani. Kwa kuongezea, umakini madhubuti unapaswa kulipwa kwa kazi ya kusafisha ili kupunguza chanzo cha uchafuzi wa mazingira kwenye sakafu.
5. Utunzaji wa hali
Jalada linalojulikana kama induction linamaanisha uzushi wa kutoa hewa kwa upande mwingine kwa mtiririko wa sare, na kuchochea vumbi linalotokana na chumba au vumbi katika maeneo yaliyokuwa na uchafu kwa upande wa juu, na hivyo kusababisha vumbi kuchafua. Matukio yanayowezekana ni pamoja na yafuatayo:
(1) Bamba la kipofu
Katika chumba safi na mtiririko wa njia moja wima, kwa sababu ya viungo kwenye ukuta, kwa ujumla kuna paneli kubwa za vipofu ambazo zitatoa mtiririko wa msukosuko na uti wa mgongo wa ndani.
(2) Taa
Marekebisho ya taa kwenye chumba safi itakuwa na athari kubwa. Kwa kuwa joto la taa ya fluorescent husababisha mtiririko wa hewa kuongezeka, taa ya fluorescent haitakuwa eneo lenye misukosuko. Kwa ujumla, taa kwenye chumba safi zimetengenezwa kwa sura ya teardrop ili kupunguza athari za taa kwenye shirika la hewa.
(3) Mapungufu kati ya kuta
Wakati kuna mapungufu kati ya ukuta wa kizigeu au dari zilizo na mahitaji tofauti ya usafi, vumbi kutoka kwa maeneo yenye mahitaji ya usafi wa chini yanaweza kuhamishiwa maeneo ya karibu na mahitaji ya juu ya usafi.
(4) Umbali kati ya vifaa vya mitambo na sakafu au ukuta
Ikiwa pengo kati ya vifaa vya mitambo na sakafu au ukuta ni ndogo, mtikisiko wa kurudi tena utatokea. Kwa hivyo, acha pengo kati ya vifaa na ukuta na uinue jukwaa la mashine ili kuepusha mawasiliano ya moja kwa moja na ardhi.
Wakati wa chapisho: Novemba-02-2023