Kiwango cha mavuno cha chip katika tasnia ya utengenezaji wa IC kinahusiana kwa karibu na saizi na idadi ya chembe za hewa zilizowekwa kwenye chip. Shirika nzuri la mtiririko wa hewa linaweza kuchukua chembe zinazozalishwa na chanzo cha vumbi kutoka kwa chumba safi ili kuhakikisha usafi wa chumba safi, yaani, shirika la mtiririko wa hewa katika chumba safi lina jukumu muhimu katika kiwango cha mavuno cha uzalishaji wa IC. Ubunifu wa shirika la mtiririko wa hewa katika chumba safi unahitaji kufikia malengo yafuatayo: kupunguza au kuondoa mkondo wa eddy kwenye uwanja wa mtiririko ili kuzuia uhifadhi wa chembe hatari; kudumisha gradient chanya ya shinikizo ili kuzuia uchafuzi wa msalaba.
Nguvu ya mtiririko wa hewa
Kulingana na kanuni ya chumba safi, nguvu zinazofanya kazi kwenye chembe ni pamoja na nguvu kubwa, nguvu ya molekuli, mvuto kati ya chembe, nguvu ya mtiririko wa hewa, nk.
Nguvu ya mtiririko wa hewa: inarejelea nguvu ya mtiririko wa hewa unaosababishwa na uwasilishaji, mtiririko wa hewa unaorudishwa, mtiririko wa hewa wa uingizaji hewa wa joto, msisimko wa bandia, na mtiririko mwingine wa hewa wenye kiwango fulani cha mtiririko wa kubeba chembe. Kwa udhibiti wa kiufundi wa mazingira safi ya chumba, nguvu ya mtiririko wa hewa ni jambo muhimu zaidi.
Majaribio yameonyesha kuwa katika harakati za mtiririko wa hewa, chembe hufuata mwendo wa mtiririko wa hewa kwa karibu kasi sawa. Hali ya chembe katika hewa imedhamiriwa na usambazaji wa mtiririko wa hewa. Mitiririko ya hewa inayoathiri chembe za ndani hasa ni pamoja na: mtiririko wa hewa wa usambazaji wa hewa (ikiwa ni pamoja na mtiririko wa hewa wa msingi na mtiririko wa pili wa hewa), mtiririko wa hewa na mtiririko wa hewa wa uingizaji wa joto unaosababishwa na watu wanaotembea, na mtiririko wa hewa unaosababishwa na uendeshaji wa mchakato na vifaa vya viwanda. Mbinu tofauti za ugavi wa hewa, miingiliano ya kasi, waendeshaji na vifaa vya viwandani, na matukio yaliyosababishwa katika vyumba safi ni mambo yanayoathiri kiwango cha usafi.
Mambo yanayoathiri shirika la mtiririko wa hewa
1. Ushawishi wa njia ya ugavi wa hewa
(1). Kasi ya usambazaji wa hewa
Ili kuhakikisha mtiririko wa hewa sawa, kasi ya usambazaji wa hewa lazima iwe sawa katika chumba safi cha unidirectional; eneo la wafu la uso wa usambazaji wa hewa lazima iwe ndogo; na kushuka kwa shinikizo katika ULPA lazima pia kuwa sare.
Kasi ya usambazaji wa hewa sare: ambayo ni, usawa wa mtiririko wa hewa unadhibitiwa ndani ya ± 20%.
Eneo la chini lililokufa kwenye uso wa usambazaji wa hewa: sio tu eneo la ndege la sura ya ULPA linapaswa kupunguzwa, lakini muhimu zaidi, FFU ya kawaida inapaswa kupitishwa ili kurahisisha sura isiyohitajika.
Ili kuhakikisha mtiririko wa hewa wa wima wa unidirectional, uteuzi wa kushuka kwa shinikizo la chujio pia ni muhimu sana, unaohitaji kupoteza kwa shinikizo kwenye chujio hawezi kupotoka.
(2). Ulinganisho kati ya mfumo wa FFU na mfumo wa shabiki wa mtiririko wa axial
FFU ni kitengo cha usambazaji hewa chenye feni na kichungi (ULPA). Baada ya hewa kuingizwa ndani na feni ya katikati ya FFU, shinikizo inayobadilika inabadilishwa kuwa shinikizo tuli katika njia ya hewa na kupulizwa sawasawa na ULPA. Shinikizo la usambazaji wa hewa kwenye dari ni shinikizo hasi, ili hakuna vumbi litakaloingia kwenye chumba safi wakati chujio kinabadilishwa. Majaribio yameonyesha kuwa mfumo wa FFU ni bora kuliko mfumo wa shabiki wa mtiririko wa axial kwa suala la usawa wa sehemu ya hewa, usawa wa mtiririko wa hewa na fahirisi ya ufanisi wa uingizaji hewa. Hii ni kwa sababu usawa wa mtiririko wa hewa wa mfumo wa FFU ni bora zaidi. Matumizi ya mfumo wa FFU inaweza kufanya mtiririko wa hewa katika chumba safi kupangwa vizuri.
(3). Ushawishi wa muundo wa FFU wenyewe
FFU inaundwa hasa na feni, vichungi, vifaa vya mwongozo wa mtiririko wa hewa na vipengele vingine. Kichujio cha ufanisi wa hali ya juu cha ULPA ndio dhamana muhimu zaidi ya ikiwa chumba safi kinaweza kufikia usafi unaohitajika wa muundo. Nyenzo za chujio pia zitaathiri usawa wa uwanja wa mtiririko. Wakati nyenzo ya chujio coarse au sahani laminar mtiririko ni aliongeza kwa chujio plagi, shamba mtiririko plagi inaweza kwa urahisi kufanywa sare.
2. Athari za miingiliano tofauti ya kasi ya usafi
Katika chumba hicho safi, kati ya eneo la kufanya kazi na eneo lisilo la kufanya kazi la mtiririko wa wima wa unidirectional, kwa sababu ya tofauti ya kasi ya hewa kwenye kituo cha ULPA, athari ya mchanganyiko wa vortex itatolewa kwenye kiolesura, na kiolesura hiki kitakuwa eneo la mtiririko wa hewa wenye misukosuko na msukosuko wa hali ya juu wa hewa. Chembe zinaweza kupitishwa kwenye uso wa kifaa na kuchafua vifaa na kaki.
3. Athari za wafanyakazi na vifaa
Wakati chumba safi ni tupu, sifa za mtiririko wa hewa katika chumba kwa ujumla hukutana na mahitaji ya kubuni. Mara tu vifaa vinapoingia kwenye chumba safi, kusonga kwa wafanyikazi na bidhaa zinapitishwa, bila shaka kutakuwa na vizuizi kwa shirika la mtiririko wa hewa. Kwa mfano, kwenye pembe zinazojitokeza au kingo za vifaa, gesi itaelekezwa ili kuunda eneo lenye msukosuko, na maji katika eneo hilo hayachukuliwi kwa urahisi na gesi, na hivyo kusababisha uchafuzi wa mazingira. Wakati huo huo, uso wa vifaa utawaka moto kutokana na operesheni inayoendelea, na gradient ya joto itasababisha eneo la reflow karibu na mashine, ambayo itaongeza mkusanyiko wa chembe katika eneo la reflow. Wakati huo huo, joto la juu litasababisha urahisi chembe kutoroka. Athari mbili huzidisha ugumu wa kudhibiti usafi wa jumla wa wima wa lamina. Vumbi kutoka kwa waendeshaji katika chumba safi ni rahisi sana kuambatana na kaki katika maeneo haya ya reflow.
4. Ushawishi wa sakafu ya hewa ya kurudi
Wakati upinzani wa hewa ya kurudi kupitia sakafu ni tofauti, tofauti ya shinikizo itatolewa, ili hewa itapita kwa mwelekeo wa upinzani mdogo, na mtiririko wa hewa sare hautapatikana. Njia ya sasa ya kubuni maarufu ni kutumia sakafu iliyoinuliwa. Wakati kiwango cha ufunguzi wa sakafu iliyoinuliwa ni 10%, kasi ya mtiririko wa hewa katika urefu wa kazi wa chumba inaweza kusambazwa sawasawa. Kwa kuongeza, tahadhari kali inapaswa kulipwa kwa kazi ya kusafisha ili kupunguza chanzo cha uchafuzi wa sakafu.
5. Jambo la induction
Kinachojulikana uzushi wa introduktionsutbildning inahusu jambo ambalo mtiririko wa hewa katika mwelekeo tofauti wa mtiririko wa sare hutolewa, na vumbi vinavyotokana na chumba au vumbi katika eneo la karibu lililochafuliwa husababishwa kwa upande wa upepo, ili vumbi liweze kuchafua chip. Yafuatayo ni matukio ya utangulizi yanayowezekana:
(1). Sahani kipofu
Katika chumba safi chenye mtiririko wa wima wa unidirectional, kwa sababu ya viunga kwenye ukuta, kwa ujumla kuna sahani kubwa za vipofu ambazo zitaleta msukosuko katika mtiririko wa kurudi wa ndani.
(2). Taa
Taa za taa katika chumba safi zitakuwa na athari kubwa zaidi. Kwa kuwa joto la taa za fluorescent husababisha mtiririko wa hewa kuongezeka, hakutakuwa na eneo la msukosuko chini ya taa za fluorescent. Kwa ujumla, taa katika chumba safi zimeundwa kwa sura ya machozi ili kupunguza athari za taa kwenye shirika la mtiririko wa hewa.
(3.) Mapungufu kati ya kuta
Wakati kuna mapungufu kati ya partitions na viwango tofauti vya usafi au kati ya partitions na dari, vumbi kutoka eneo na mahitaji ya chini ya usafi inaweza kuhamishiwa eneo la karibu na mahitaji ya juu ya usafi.
(4). Umbali kati ya mashine na sakafu au ukuta
Ikiwa pengo kati ya mashine na sakafu au ukuta ni ndogo sana, itasababisha mtikisiko wa kurudi tena. Kwa hiyo, acha pengo kati ya vifaa na ukuta na uinue mashine ili kuepuka kuruhusu mashine kugusa ardhi moja kwa moja.
Muda wa kutuma: Feb-05-2025