Kiwango cha mavuno ya chip katika tasnia ya utengenezaji wa IC kinahusiana kwa karibu na ukubwa na idadi ya chembe za hewa zilizowekwa kwenye chip. Shirika zuri la mtiririko wa hewa linaweza kuchukua chembe zinazozalishwa na chanzo cha vumbi kutoka kwenye chumba safi ili kuhakikisha usafi wa chumba safi, yaani, shirika la mtiririko wa hewa katika chumba safi lina jukumu muhimu katika kiwango cha mavuno cha uzalishaji wa IC. Ubunifu wa shirika la mtiririko wa hewa katika chumba safi unahitaji kufikia malengo yafuatayo: kupunguza au kuondoa mkondo wa eddy katika uwanja wa mtiririko ili kuepuka uhifadhi wa chembe zenye madhara; kudumisha kiwango cha shinikizo chanya kinachofaa ili kuzuia uchafuzi mtambuka.
Nguvu ya mtiririko wa hewa
Kulingana na kanuni ya chumba safi, nguvu zinazofanya kazi kwenye chembe ni pamoja na nguvu ya molekuli, nguvu ya molekuli, mvuto kati ya chembe, nguvu ya mtiririko wa hewa, n.k.
Nguvu ya mtiririko wa hewa: inarejelea nguvu ya mtiririko wa hewa unaosababishwa na uwasilishaji, mtiririko wa hewa unaorudi, mtiririko wa hewa wa msongamano wa joto, kuchochea bandia, na mtiririko mwingine wa hewa wenye kiwango fulani cha mtiririko wa kubeba chembe. Kwa udhibiti wa kiufundi wa mazingira safi ya chumba, nguvu ya mtiririko wa hewa ndiyo jambo muhimu zaidi.
Majaribio yameonyesha kwamba katika harakati za mtiririko wa hewa, chembe hufuata harakati za mtiririko wa hewa kwa kasi sawa. Hali ya chembe hewani huamuliwa na usambazaji wa mtiririko wa hewa. Mitiririko ya hewa inayoathiri chembe za ndani ni pamoja na: mtiririko wa hewa unaosambaza hewa (ikiwa ni pamoja na mtiririko wa hewa wa msingi na mtiririko wa hewa wa pili), mtiririko wa hewa unaosambazwa na msongamano wa joto unaosababishwa na watu kutembea, na mtiririko wa hewa unaosababishwa na uendeshaji wa michakato na vifaa vya viwandani. Mbinu tofauti za usambazaji wa hewa, violesura vya kasi, waendeshaji na vifaa vya viwandani, na matukio yanayosababishwa katika vyumba safi yote ni mambo yanayoathiri kiwango cha usafi.
Mambo yanayoathiri mpangilio wa mtiririko wa hewa
1. Ushawishi wa njia ya usambazaji wa hewa
(1). Kasi ya usambazaji wa hewa
Ili kuhakikisha mtiririko wa hewa ni sawa, kasi ya usambazaji wa hewa lazima iwe sawa katika chumba safi chenye mwelekeo mmoja; eneo lililokufa la uso wa usambazaji wa hewa lazima liwe dogo; na kushuka kwa shinikizo katika ULPA lazima pia kuwe sawa.
Kasi ya usambazaji wa hewa sawa: yaani, kutofautiana kwa mtiririko wa hewa kunadhibitiwa ndani ya ±20%.
Eneo lisilo na hewa nyingi kwenye uso wa usambazaji wa hewa: si tu kwamba eneo la ndege la fremu ya ULPA linapaswa kupunguzwa, lakini muhimu zaidi, FFU ya moduli inapaswa kutumika ili kurahisisha fremu isiyo na hewa.
Ili kuhakikisha mtiririko wa hewa wima upande mmoja, uteuzi wa kushuka kwa shinikizo la kichujio pia ni muhimu sana, ikihitaji kwamba upotevu wa shinikizo kwenye kichujio usiweze kupotoka.
(2). Ulinganisho kati ya mfumo wa FFU na mfumo wa feni ya mtiririko wa axial
FFU ni kitengo cha usambazaji hewa chenye feni na kichujio (ULPA). Baada ya hewa kufyonzwa na feni ya centrifugal ya FFU, shinikizo la nguvu hubadilishwa kuwa shinikizo tuli kwenye mfereji wa hewa na kupuliziwa sawasawa na ULPA. Shinikizo la usambazaji wa hewa kwenye dari ni shinikizo hasi, ili hakuna vumbi litakalovuja kwenye chumba safi wakati kichujio kinabadilishwa. Majaribio yameonyesha kuwa mfumo wa FFU ni bora kuliko mfumo wa feni ya mtiririko wa axial kwa upande wa usawa wa njia ya hewa, usawa wa mtiririko wa hewa na faharisi ya ufanisi wa uingizaji hewa. Hii ni kwa sababu usawa wa mtiririko wa hewa wa mfumo wa FFU ni bora zaidi. Matumizi ya mfumo wa FFU yanaweza kufanya mtiririko wa hewa katika chumba safi upangiliwe vyema.
(3). Ushawishi wa muundo wa FFU mwenyewe
FFU imeundwa zaidi na feni, vichujio, vifaa vya mwongozo wa mtiririko wa hewa na vipengele vingine. Kichujio cha ULPA chenye ufanisi wa hali ya juu ni dhamana muhimu zaidi ya kama chumba safi kinaweza kufikia usafi unaohitajika wa muundo. Nyenzo za kichujio pia zitaathiri usawa wa uwanja wa mtiririko. Nyenzo ya kichujio au bamba la mtiririko wa laminar linapoongezwa kwenye sehemu ya kutolea hewa, uwanja wa mtiririko wa hewa unaweza kufanywa kwa urahisi kuwa sawa.
2. Athari za violesura tofauti vya kasi vya usafi
Katika chumba kile kile safi, kati ya eneo la kazi na eneo lisilofanya kazi la mtiririko wima wa mwelekeo mmoja, kutokana na tofauti ya kasi ya hewa kwenye sehemu ya kutolea hewa ya ULPA, athari ya vortex mchanganyiko itatolewa kwenye kiolesura, na kiolesura hiki kitakuwa eneo la mtiririko wa hewa wenye msukosuko lenye nguvu kubwa ya msukosuko wa hewa. Chembe zinaweza kusambazwa kwenye uso wa kifaa na kuchafua vifaa na wafers.
3. Athari ya wafanyakazi na vifaa
Wakati chumba safi kikiwa tupu, sifa za mtiririko wa hewa ndani ya chumba kwa ujumla hukidhi mahitaji ya muundo. Mara tu vifaa vinapoingia kwenye chumba safi, wafanyakazi huhama na bidhaa hupitishwa, kutakuwa na vikwazo kwa mpangilio wa mtiririko wa hewa. Kwa mfano, kwenye pembe au kingo zinazojitokeza za vifaa, gesi itaelekezwa ili kuunda eneo lenye msukosuko, na umajimaji katika eneo hilo hauchukuliwi kwa urahisi na gesi, na hivyo kusababisha uchafuzi wa mazingira. Wakati huo huo, uso wa vifaa utapashwa joto kutokana na operesheni inayoendelea, na mteremko wa halijoto utasababisha eneo la mtiririko wa hewa karibu na mashine, ambalo litaongeza mkusanyiko wa chembe katika eneo la mtiririko wa hewa. Wakati huo huo, halijoto ya juu itasababisha chembe kutoroka kwa urahisi. Athari mbili hizo huzidisha ugumu wa kudhibiti usafi wa jumla wa laminar wima. Vumbi kutoka kwa waendeshaji katika chumba safi ni rahisi sana kushikamana na wafers katika maeneo haya ya mtiririko wa hewa.
4. Ushawishi wa sakafu ya hewa inayorudi
Wakati upinzani wa hewa inayorudi inayopita kwenye sakafu ni tofauti, tofauti ya shinikizo itatolewa, ili hewa itiririke kuelekea upande wa upinzani mdogo, na mtiririko wa hewa sare hautapatikana. Njia maarufu ya sasa ya usanifu ni kutumia sakafu zilizoinuliwa. Wakati kiwango cha ufunguzi wa sakafu zilizoinuliwa ni 10%, kasi ya mtiririko wa hewa katika urefu wa kufanya kazi wa chumba inaweza kusambazwa sawasawa. Kwa kuongezea, umakini mkubwa unapaswa kulipwa kwa kazi ya kusafisha ili kupunguza chanzo cha uchafuzi wa sakafu.
5. Jambo la uanzishaji
Kinachojulikana kama jambo la uanzishaji hurejelea jambo ambalo mtiririko wa hewa katika mwelekeo tofauti wa mtiririko sare huzalishwa, na vumbi linalozalishwa katika chumba au vumbi katika eneo lililochafuliwa karibu husababishwa upande wa upepo, ili vumbi liweze kuchafua chip. Yafuatayo ni matukio yanayowezekana ya uanzishaji:
(1). Sahani ya kipofu
Katika chumba safi chenye mtiririko wima unaoelekea upande mmoja, kutokana na viungo ukutani, kwa ujumla kuna sahani kubwa zisizoonekana ambazo zitasababisha mtikisiko katika mtiririko wa kurudi wa ndani.
(2). Taa
Taa katika chumba safi zitakuwa na athari kubwa zaidi. Kwa kuwa joto la taa za fluorescent husababisha mtiririko wa hewa kuongezeka, hakutakuwa na eneo lenye msukosuko chini ya taa za fluorescent. Kwa ujumla, taa katika chumba safi zimeundwa kwa umbo la matone ya machozi ili kupunguza athari za taa kwenye mpangilio wa mtiririko wa hewa.
(3.) Mapengo kati ya kuta
Wakati kuna mapengo kati ya vizuizi vyenye viwango tofauti vya usafi au kati ya vizuizi na dari, vumbi kutoka eneo lenye mahitaji ya usafi mdogo linaweza kuhamishiwa kwenye eneo lililo karibu lenye mahitaji ya usafi wa hali ya juu.
(4). Umbali kati ya mashine na sakafu au ukuta
Ikiwa pengo kati ya mashine na sakafu au ukuta ni dogo sana, litasababisha msukosuko wa kurudi nyuma. Kwa hivyo, acha pengo kati ya vifaa na ukuta na uinue mashine ili kuepuka kuruhusu mashine kugusa ardhi moja kwa moja.
Muda wa chapisho: Februari-05-2025