Kiwango cha mavuno ya chip katika tasnia ya utengenezaji wa IC inahusiana sana na saizi na idadi ya chembe za hewa zilizowekwa kwenye chip. Shirika nzuri ya hewa ya hewa inaweza kuchukua chembe zinazozalishwa na chanzo cha vumbi mbali na chumba safi ili kuhakikisha usafi wa chumba safi, ambayo ni, shirika la kufurika katika chumba safi lina jukumu muhimu katika kiwango cha mavuno ya uzalishaji wa IC. Ubunifu wa shirika la hewa katika chumba safi unahitaji kufikia malengo yafuatayo: kupunguza au kuondoa eddy ya sasa kwenye uwanja wa mtiririko ili kuzuia utunzaji wa chembe zenye madhara; Kudumisha gradient inayofaa ya shinikizo ili kuzuia uchafuzi wa msalaba.
Nguvu ya hewa
Kulingana na kanuni ya chumba safi, vikosi vinavyofanya kazi kwenye chembe ni pamoja na nguvu kubwa, nguvu ya Masi, kivutio kati ya chembe, nguvu ya hewa, nk.
Nguvu ya Airflow: Inahusu nguvu ya utiririshaji wa hewa unaosababishwa na utoaji, kurudi hewa, hewa ya kufurika kwa mafuta, kuchochea bandia, na hewa nyingine na kiwango fulani cha mtiririko kubeba chembe. Kwa udhibiti wa kiufundi wa mazingira safi ya chumba, nguvu ya hewa ni jambo muhimu zaidi.
Majaribio yameonyesha kuwa katika harakati za hewa, chembe hufuata harakati za hewa kwa karibu kasi sawa. Hali ya chembe kwenye hewa imedhamiriwa na usambazaji wa hewa. Mtiririko wa hewa unaoathiri chembe za ndani ni pamoja na: hewa ya usambazaji wa hewa (pamoja na hewa ya msingi na hewa ya sekondari), hewa ya hewa na hewa ya convection inayosababishwa na watu wanaotembea, na hewa inayosababishwa na operesheni ya michakato na vifaa vya viwandani. Njia tofauti za usambazaji wa hewa, miingiliano ya kasi, waendeshaji na vifaa vya viwandani, na matukio yaliyosababishwa katika vyumba safi ni mambo yote yanayoathiri kiwango cha usafi.
Mambo yanayoathiri shirika la hewa ya hewa
1. Ushawishi wa njia ya usambazaji wa hewa
(1). Kasi ya usambazaji wa hewa
Ili kuhakikisha kuwa hewa ya hewa sawa, kasi ya usambazaji wa hewa lazima iwe sawa katika chumba safi kisicho na usawa; Ukanda uliokufa wa uso wa usambazaji wa hewa lazima uwe mdogo; na kushuka kwa shinikizo katika ULPA lazima pia kuwa sawa.
Kasi ya usambazaji wa hewa isiyo sawa: Hiyo ni, kutokuwa na usawa wa hewa kunadhibitiwa ndani ya ± 20%.
Ukanda mdogo wa kufa juu ya uso wa usambazaji wa hewa: Sio tu kwamba eneo la ndege la sura ya ULPA lipunguzwe, lakini muhimu zaidi, FFU ya kawaida inapaswa kupitishwa ili kurahisisha sura isiyo na maana.
Ili kuhakikisha hewa ya wima isiyo na wima, uteuzi wa shinikizo la shinikizo pia ni muhimu sana, ikihitaji kwamba upotezaji wa shinikizo kwenye kichujio hauwezi kupotea.
(2). Kulinganisha kati ya mfumo wa FFU na mfumo wa shabiki wa mtiririko wa axial
FFU ni kitengo cha usambazaji wa hewa na shabiki na kichungi (ULPA). Baada ya hewa kuingizwa na shabiki wa centrifugal wa FFU, shinikizo la nguvu hubadilishwa kuwa shinikizo la tuli katika duct ya hewa na kulipuliwa sawasawa na ULPA. Shinikiza ya usambazaji wa hewa kwenye dari ni shinikizo hasi, ili hakuna vumbi litakaloingia kwenye chumba safi wakati kichujio kinabadilishwa. Majaribio yameonyesha kuwa mfumo wa FFU ni bora kuliko mfumo wa shabiki wa mtiririko wa axial kwa suala la umoja wa hewa, usawa wa hewa na faharisi ya ufanisi wa uingizaji hewa. Hii ni kwa sababu usawa wa hewa ya mfumo wa FFU ni bora. Matumizi ya mfumo wa FFU inaweza kufanya mtiririko wa hewa kwenye chumba safi kupangwa vizuri.
(3). Ushawishi wa muundo wa FFU mwenyewe
FFU inaundwa sana na mashabiki, vichungi, vifaa vya mwongozo wa hewa na vifaa vingine. Kichujio cha ufanisi wa hali ya juu ni dhamana muhimu zaidi kwa ikiwa chumba safi kinaweza kufikia usafi unaohitajika wa muundo. Nyenzo ya kichujio pia itaathiri umoja wa uwanja wa mtiririko. Wakati nyenzo ya chujio coarse au sahani ya mtiririko wa laminar imeongezwa kwenye duka la vichungi, uwanja wa mtiririko wa nje unaweza kufanywa kwa urahisi.
2. Athari za miingiliano tofauti ya kasi ya usafi
Katika chumba kimoja safi, kati ya eneo la kufanya kazi na eneo lisilofanya kazi la mtiririko wa wima usio na wima, kwa sababu ya tofauti ya kasi ya hewa kwenye duka la ULPA, athari ya mchanganyiko wa vortex itatolewa kwenye interface, na interface hii itakuwa ya kutatanisha eneo la mtiririko wa hewa na kiwango cha juu cha mtikisiko wa hewa. Chembe zinaweza kupitishwa kwa uso wa vifaa na kuchafua vifaa na mikate.
3. Athari za wafanyikazi na vifaa
Wakati chumba safi ni tupu, sifa za mtiririko wa hewa ndani ya chumba kwa ujumla hukidhi mahitaji ya muundo. Mara tu vifaa vinapoingia kwenye chumba safi, hoja za wafanyikazi na bidhaa zinapitishwa, kutakuwa na vizuizi kwa shirika la mtiririko wa hewa. Kwa mfano, katika pembe zinazojitokeza au kingo za vifaa, gesi itaelekezwa ili kuunda eneo lenye msukosuko, na maji katika ukanda hayapelekwe kwa urahisi na gesi, na hivyo kusababisha uchafuzi wa mazingira. Wakati huo huo, uso wa vifaa vitawaka moto kwa sababu ya operesheni inayoendelea, na gradient ya joto itasababisha eneo la kuzunguka karibu na mashine, ambayo itaongeza mkusanyiko wa chembe katika eneo la kurejesha. Wakati huo huo, joto la juu litasababisha chembe kutoroka. Athari mbili huongeza ugumu wa kudhibiti usafi wa wima wa jumla. Vumbi kutoka kwa waendeshaji kwenye chumba safi ni rahisi sana kuambatana na mikate kwenye maeneo haya ya kurudisha nyuma.
4. Ushawishi wa sakafu ya hewa ya kurudi
Wakati upinzani wa kurudi kwa hewa kupita kupitia sakafu ni tofauti, tofauti ya shinikizo itatolewa, ili hewa itimie katika mwelekeo wa upinzani mdogo, na hewa ya usawa haipatikani. Njia maarufu ya sasa ni kutumia sakafu zilizoinuliwa. Wakati kiwango cha ufunguzi wa sakafu zilizoinuliwa ni 10%, kasi ya hewa katika urefu wa kufanya kazi wa chumba inaweza kusambazwa sawasawa. Kwa kuongezea, umakini madhubuti unapaswa kulipwa kwa kazi ya kusafisha ili kupunguza chanzo cha uchafuzi wa sakafu.
5. Utunzaji wa hali
Jambo linalojulikana kama induction linamaanisha jambo ambalo mtiririko wa hewa katika upande mwingine wa mtiririko wa sare hutolewa, na vumbi linalotokana na chumba au vumbi katika eneo lililokuwa na uchafu linasababishwa na upande wa juu, ili vumbi inaweza kuchafua chip. Ifuatayo ni matukio ya induction inayowezekana:
(1). Bamba la kipofu
Katika chumba safi na mtiririko wa wima usio na wima, kwa sababu ya viungo kwenye ukuta, kwa ujumla kuna sahani kubwa za vipofu ambazo zitatoa mtikisiko katika mtiririko wa kurudi wa ndani.
(2). Taa
Marekebisho ya taa kwenye chumba safi itakuwa na athari kubwa. Kwa kuwa joto la taa za fluorescent husababisha mtiririko wa hewa kuongezeka, hakutakuwa na eneo lenye misukosuko chini ya taa za umeme. Kwa ujumla, taa kwenye chumba safi zimetengenezwa kwa sura ya teardrop ili kupunguza athari za taa kwenye shirika la hewa.
(3.) Mapungufu kati ya kuta
Wakati kuna mapungufu kati ya sehemu zilizo na viwango tofauti vya usafi au kati ya sehemu na dari, vumbi kutoka eneo hilo lenye mahitaji ya usafi wa chini linaweza kuhamishiwa eneo la karibu na mahitaji ya usafi wa hali ya juu.
(4). Umbali kati ya mashine na sakafu au ukuta
Ikiwa pengo kati ya mashine na sakafu au ukuta ni ndogo sana, itasababisha mtikisiko wa kurudi nyuma. Kwa hivyo, acha pengo kati ya vifaa na ukuta na uinue mashine ili kuepuka kuiruhusu mashine iguse ardhi moja kwa moja.
Wakati wa chapisho: Feb-05-2025