Ulinzi wa mazingira unazidi kuzingatiwa, hasa kutokana na kuongezeka kwa hali ya hewa ya ukungu. Uhandisi wa vyumba safi ni mojawapo ya hatua za ulinzi wa mazingira. Jinsi ya kutumia uhandisi wa vyumba safi kufanya kazi nzuri katika ulinzi wa mazingira? Hebu tuzungumzie udhibiti katika uhandisi wa vyumba safi.
Udhibiti wa halijoto na unyevunyevu katika chumba safi
Halijoto na unyevunyevu wa nafasi safi huamuliwa hasa kulingana na mahitaji ya mchakato, lakini inapokidhi mahitaji ya mchakato, starehe ya binadamu inapaswa kuzingatiwa. Kwa uboreshaji wa mahitaji ya usafi wa hewa, kuna mwelekeo wa mahitaji magumu zaidi ya halijoto na unyevunyevu unaoendelea.
Kama kanuni ya jumla, kutokana na usahihi unaoongezeka wa usindikaji, mahitaji ya kiwango cha mabadiliko ya halijoto yanazidi kuwa madogo. Kwa mfano, katika mchakato wa lithografia na mfiduo wa uzalishaji mkubwa wa saketi jumuishi, tofauti katika mgawo wa upanuzi wa joto kati ya vioo na vifuniko vya silikoni vinavyotumika kama nyenzo za barakoa inazidi kuwa ndogo.
Kaki ya silikoni yenye kipenyo cha 100 μ m husababisha upanuzi wa mstari wa 0.24 μ m wakati halijoto inapoongezeka kwa digrii 1. Kwa hivyo, halijoto isiyobadilika ya ± 0.1 ℃ ni muhimu, na thamani ya unyevu kwa ujumla ni ya chini kwa sababu baada ya kutokwa na jasho, bidhaa itakuwa imechafuliwa, haswa katika karakana za nusu-sekunde ambazo zinaogopa sodiamu. Aina hii ya karakana haipaswi kuzidi 25 ℃.
Unyevu mwingi husababisha matatizo zaidi. Unyevu mwingi unapozidi 55%, mgandamizo utaunda kwenye ukuta wa bomba la maji baridi. Ikiwa hutokea katika vifaa au saketi za usahihi, inaweza kusababisha ajali mbalimbali. Unyevu unapozidi 50%, ni rahisi kutu. Zaidi ya hayo, unyevu unapozidi, vumbi linaloshikamana na uso wa kaki ya silikoni litafyonzwa kwa kemikali juu ya uso kupitia molekuli za maji hewani, ambazo ni vigumu kuziondoa.
Kadiri unyevunyevu unavyoongezeka, ndivyo inavyokuwa vigumu kuondoa mshikamano. Hata hivyo, unyevunyevu unapopungua 30%, chembe pia hufyonzwa kwa urahisi juu ya uso kutokana na kitendo cha nguvu ya umemetuamo, na idadi kubwa ya vifaa vya nusu nusu huwa na uwezekano wa kuharibika. Kiwango bora cha halijoto kwa ajili ya uzalishaji wa wafer wa silikoni ni 35-45%.
Shinikizo la hewaudhibitikatika chumba safi
Kwa nafasi nyingi safi, ili kuzuia uchafuzi wa nje kuvamia, ni muhimu kudumisha shinikizo la ndani (shinikizo tuli) juu kuliko shinikizo la nje (shinikizo tuli). Utunzaji wa tofauti ya shinikizo kwa ujumla unapaswa kuzingatia kanuni zifuatazo:
1. Shinikizo katika nafasi safi linapaswa kuwa kubwa kuliko lile katika nafasi zisizo safi.
2. Shinikizo katika maeneo yenye viwango vya juu vya usafi linapaswa kuwa kubwa kuliko lile katika maeneo yaliyo karibu yenye viwango vya chini vya usafi.
3. Milango kati ya vyumba safi inapaswa kufunguliwa kuelekea vyumba vyenye viwango vya juu vya usafi.
Udumishaji wa tofauti ya shinikizo hutegemea kiasi cha hewa safi, ambacho kinapaswa kufidia uvujaji wa hewa kutoka kwa pengo chini ya tofauti hii ya shinikizo. Kwa hivyo maana halisi ya tofauti ya shinikizo ni upinzani wa mtiririko wa hewa unaovuja (au kupenya) kupitia mapengo mbalimbali katika chumba safi.
Muda wa chapisho: Julai-21-2023