Ulinzi wa mazingira hulipwa kwa uangalifu zaidi na zaidi, haswa na kuongezeka kwa hali ya hewa ya ukungu. Uhandisi wa chumba safi ni moja ya hatua za ulinzi wa mazingira. Jinsi ya kutumia uhandisi wa chumba safi kufanya kazi nzuri katika ulinzi wa mazingira? Wacha tuzungumze juu ya udhibiti katika uhandisi safi wa chumba.
Udhibiti wa joto na unyevu katika chumba safi
Joto na unyevu wa nafasi safi huamua hasa kulingana na mahitaji ya mchakato, lakini wakati wa kukidhi mahitaji ya mchakato, faraja ya kibinadamu inapaswa kuzingatiwa. Pamoja na uboreshaji wa mahitaji ya usafi wa hewa, kuna mwelekeo wa mahitaji kali zaidi ya joto na unyevu katika mchakato.
Kama kanuni ya jumla, kwa sababu ya usahihi unaoongezeka wa usindikaji, mahitaji ya anuwai ya mabadiliko ya joto yanakuwa madogo na madogo. Kwa mfano, katika mchakato wa lithography na mfiduo wa uzalishaji wa saketi jumuishi kwa kiwango kikubwa, tofauti ya mgawo wa upanuzi wa mafuta kati ya kioo na kaki za silicon zinazotumiwa kama nyenzo za barakoa inazidi kuwa ndogo.
Kaki ya silicon yenye kipenyo cha 100 μ m husababisha upanuzi wa mstari wa 0.24 μ m wakati joto linapoongezeka kwa digrii 1. Kwa hiyo, joto la mara kwa mara la ± 0.1 ℃ ni muhimu, na thamani ya unyevu kwa ujumla ni ya chini kwa sababu baada ya jasho, bidhaa itachafuliwa, hasa katika warsha za semiconductor ambazo zinaogopa sodiamu. Aina hii ya semina haipaswi kuzidi 25 ℃.
Unyevu mwingi husababisha shida zaidi. Wakati unyevu wa jamaa unazidi 55%, condensation itaunda kwenye ukuta wa bomba la maji ya baridi. Ikiwa hutokea katika vifaa vya usahihi au nyaya, inaweza kusababisha ajali mbalimbali. Wakati unyevu wa jamaa ni 50%, ni rahisi kutu. Kwa kuongezea, unyevu unapokuwa mwingi, vumbi linaloshikamana na uso wa kaki ya silicon litatangazwa kwa kemikali juu ya uso kupitia molekuli za maji angani, ambayo ni ngumu kuondoa.
Ya juu ya unyevu wa jamaa, ni vigumu zaidi kuondoa kujitoa. Hata hivyo, wakati unyevu wa jamaa uko chini ya 30%, chembe pia hutangazwa kwa urahisi juu ya uso kutokana na hatua ya nguvu ya umeme, na idadi kubwa ya vifaa vya semiconductor huwa na kuharibika. Kiwango bora cha joto kwa uzalishaji wa kaki ya silicon ni 35-45%.
Shinikizo la hewakudhibitikatika chumba safi
Kwa nafasi nyingi safi, ili kuzuia uchafuzi wa nje usiingie, ni muhimu kudumisha shinikizo la ndani (shinikizo la tuli) zaidi ya shinikizo la nje (shinikizo la tuli). Matengenezo ya tofauti ya shinikizo kwa ujumla yanapaswa kuzingatia kanuni zifuatazo:
1. Shinikizo katika nafasi safi linapaswa kuwa kubwa zaidi kuliko katika nafasi zisizo safi.
2. Shinikizo katika nafasi zilizo na viwango vya juu vya usafi inapaswa kuwa kubwa zaidi kuliko ile iliyo karibu na viwango vya chini vya usafi.
3. Milango kati ya vyumba safi inapaswa kufunguliwa kuelekea vyumba vilivyo na viwango vya juu vya usafi.
Matengenezo ya tofauti ya shinikizo inategemea kiasi cha hewa safi, ambayo inapaswa kuwa na uwezo wa kulipa fidia kwa uvujaji wa hewa kutoka kwa pengo chini ya tofauti hii ya shinikizo. Kwa hivyo maana ya kimwili ya tofauti ya shinikizo ni upinzani wa kuvuja (au kupenya) mtiririko wa hewa kupitia mapungufu mbalimbali katika chumba safi.
Muda wa kutuma: Jul-21-2023